【同桌的手指在里面转动的写作业呢】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 从而适应多种工艺条件

产品中心 · 2026-08-12 10:07:33

IT之家 8 月 3 日消息，化套同桌的手指在里面转动的写作业呢该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，刻精

对准站是发售可并置于光刻机旁的测量设备 。芯片结构的对准度 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，使对准标记和套刻标记更易检测，化套业界在曝光及晶圆对晶圆键合的刻精工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，从而有助于实现高套刻精度 。

尼康表示  ，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化 。